Масс-спектрометрический метод
В качестве устройства, регистрирующего поток пробного газа выступает гелиевый масс-спектрометрический течеискатель Ulvac Heliot. Минимальный достоверно регистрируемый прибором поток гелия составляет 5.10-13 Па.м3/с, эффективная скорость откачки изделия составляет 5 л/с по гелию. Особенность течеискателя Ulvac Heliot в том, что он обеспечивает указанную чувствительность в режиме противотока. Поэтому камера масс-спектрометрического анализатора всегда защищена от загрязнений и от ударного увеличения давления при срыве объекта.
-Способ гелиевой камеры
Изделие устанавливается на вход течеискателя, его внутренняя часть вакуумируется. С внешней стороны изделия устанавливается герметичная камера, которая сначала откачивается форвакуумным насосом, а потом заполняется гелием до 1 атм. Сигнал о потоке гелия, проникающем через течи в изделии, регистрируется течеискателем.
-Способ вакуумной камеры
Внутренняя область изделия откачивается форвакуумным насосом и подключается к баллону с гелием. Давление гелия в изделии с помощью редуктора на баллоне устанавливается равным одной атмосфере. Изделие устанавливается в вакуумную камеру, которая соединена с вакуумной системой течеискателя Гелиот.
Гелий, вытекающий из внутренней части изделия в вакуумную камеру, регистрируемся масс-спектрометром течеискателя Ulvac Heliot.
-Способ щупа
Способ щупа заключается в том, что объект заполняется гелием из баллона, а с внешней стороны сварные швы контролируются щупом течеискателя. Течеискатель индицирует цифровое значение течи, а также график изменения потока гелия во времени.
Ключевые особенности масс-спектрометрического течеискателя Ulvac Heliot
1) Высокие откачные характеристики. Эффективная скорость откачки изделия составляет 5 л/с по гелию.
2) Планшет для беспроводного управления и индикации сигнала входит в стандартный комплект поставки Ulvac Heliot.
3) Интуитивно-понятное управление через экран с высоким разрешением и устойчивостью к выцветанию.
4) Установка безмасляных спиральных или масляных пластинчато-роторных насосов различной производительности, согласно требованиям заказчика.
5) Транспортировочная тележка для перемещения течеискателя с насосом в рабочем помещении.
6) Простое периодическое обслуживание течеискателя, которое может быть выполнено сотрудниками предприятия, прошедшими обучение при поставке прибора.
7) Прибор экономичен в эксплуатации. Расходные материалы и ЗИП в наличии в компании Вактрон.
8) Водород, наряду с гелием, может быть использован в качестве контрольного газа.
Область применения:
- проверка любых промышленных объектов (вакуумные камеры, баки, трубопроводы, системы отопления, теплые полы, запорная арматура и т.п.), в том числе с высоким и нестабильным уровнем фона
- высокопроизводительная поточная проверка герметизированных изделий (уплотнения, запорная арматура)
- встраивание в автоматические линии с централизованным управлением
- решение научно-исследовательских задач, требующих нестандартных алгоритмов при работе с вакуумом.
 |
Основной узел течеискателя Ulvac Heliot - масс-спектрометрический анализатор. В его конструкции содержится два катода, позволяющих не прерывать процесс поиска мест нарушения герметичности при выходе из стоя одного из катодов.
Течеискатель имеет большой выносной дисплей на планшете, на котором изображается график измерений, значение течи и параметры течеискателя. Вы можете сохранять результаты, управлять удаленно процессом течеискания, встраивать течеискатель в автоматические системы контроля.
Течеискатель Ulvac Heliot имеет свою высоковакуумную систему, и может быть использован для откачки небольших объектов. Он легко разбирается для периодического сервисного обслуживания.
Вместо масляного насоса течеискатель может быть укомплектован сухим спиральным насосом. Это актуально для особо чистых помещений. Прибор устанавливается на специальную тележку, позволяющую удобно транспортировать течеискатель в пределах помещения.
Технические характеристики гелиевого масс-спектрометрического течеискателя
|
Исполнение течеискателя Ulvac Heliot |
901W1 или 901D2 |
904W2 или 904D3 |
|||||
|
Установка форнасоса |
В корпусе ТИ |
На транспортировочной тележке |
|||||
|
Пробный газ |
Гелий или водород |
||||||
|
Минимальный достоверно регистрируемый поток гелия |
5.10-13 Па.м3/с или 5.10-12 мбар.л/с или 3,75.10-9 л.мк рт. ст./с |
||||||
|
Рабочие диапазоны течей в различных режимах чувствительности |
4He |
Малые течи |
1.10-14 Па.м3/с ~ 1.10-6 Па.м3/с |
||||
|
Средние течи |
1.10-12 Па.м3/с ~ 1.10-5 Па.м3/с |
||||||
|
Большие течи |
1.10-8 Па.м3/с ~ 1.10-3 Па.м3/с |
||||||
|
2H2 |
Средние течи |
1.10-10 Па.м3/с ~ 1.10-5 Па.м3/с |
|||||
|
Эффективная скорость откачки изделия по гелию |
Малые течи |
5 л/с |
|||||
|
Средние течи |
1 л/с |
||||||
|
Максимальное давление в контролируемом изделии |
Малые течи |
2 Па или 10-2 мм рт. ст. |
|||||
|
Средние течи |
100 Па или 1 мм рт. ст. |
||||||
|
Большие течи |
1200 Па или 10 мм рт. ст. |
||||||
|
Скорость откачки высоковакуумного насоса |
31 л/с (турбомолекулярный безмасляный насос) |
||||||
|
Тип и скорость откачки форвакуумного насоса (сеть 50 Гц) |
Пластинчато-роторный масляный насос 30 л/мин или 1,8 м3/ч |
Спиральный безмасляный насос 90 л/мин или 5,4 м3/ч |
Пластинчато-роторный масляный насос 135 л/мин или 8,1 м3/ч |
Спиральный безмасляный насос 250 л/мин или 15 м3/ч |
|||
|
Масса |
33 кг |
37кг |
77кг |
74кг |
|||
|
Потребляемая мощность |
600 Вт |
500 Вт |
1100 Вт |
650 Вт |
|||
|
Диапазон питающего напряжения |
200-240 В или 100-120 В |
||||||
|
Входной порт для подключения изделия |
NW25 (ISO) |
||||||
|
Время включения |
менее 2 минут |
||||||
|
Интерфейсы передачи данных |
RS232C, RS485, analog DC, digital I/O. |
||||||
|
Пульт управления течеискателем |
Планшет с диагональю 7 дюймов (беспроводной стандарт: IEEE802.11 b/g/h) |
||||||
|
|
Расстояние управления |
Проводной |
Длина кабеля: 2 метра |
||||
|
Беспроводной |
в радиусе 40 метров |
||||||
|
Время работы планшета от батареи |
до 8 часов |
||||||
|
Сертификация |
CE, IP30 |
||||||
|
Диапазон рабочих температур |
10-40 °C (без конденсата) |
||||||
Течеискатель Ulvac Heliot является современным эквивалентом масс-спектрометрических течеискателей ПТИ-7, ПТИ-10, ТИ1-14, ТИ1-22 и ТИ1-30, снятых с производства. Течеискатель может быть выполнен в безмасляном исполнении с применением спирального или винтового насоса, в зависимости от требуемой производительности откачки. Высоковакуумным насосом во всех конфигурациях является современный турбомолекулярный насос на магнитном подвесе.
Течеискатель Ulvac Heliot представляет собой вакуумную систему, состоящую, если рассматривать упрощенно, из масс-спектрометрического анализатора, двух насосов: высоковакуумного и форвакуумного, системы клапанов, управляющей электроники и устройства индикации.
